ჩემშუნიალუმინის ვაფლის გასაპრიალებელი ფირფიტა/მბრუნავი მაგიდა დამზადებულია მაღალი სისუფთავის 99.7-99.9% ალუმინის ოქსიდისგან. მაღალი სისუფთავის ალუმინის კერამიკა გამოირჩევა განსაკუთრებული სიმტკიცით და ცვეთამედეგობით ვაფლის გასაპრიალებლად და ინარჩუნებს ზედაპირის კარგ ფორმას ხანგრძლივი პერიოდის განმავლობაში. იგი ყალიბდება PIBM-ის მეთოდით. ის ნახევარგამტარული ინდუსტრიის წევრია თავისი შეუდარებელი თერმული და განზომილებიანი სტაბილურობისა და მიკროჩიპების დამუშავების აღჭურვილობის მკაცრი გარემოსადმი მდგრადობის გამო.
ქიმიურ-მექანიკური პლანარიზაცია (CMP), ასევე ცნობილი როგორც ქიმიურ-მექანიკური გაპრიალება, არის ნახევარგამტარული მოწყობილობების წარმოების პროცესის ტექნოლოგია. ის იყენებს ქიმიურ კოროზიას და მექანიკურ ძალებს სილიკონის ვაფლების ან სხვა სუბსტრატის მასალების გასასწორებლად დამუშავების დროს.
CMP აღჭურვილობა ძირითადად ორ ნაწილად იყოფა: გასაპრიალებელი ნაწილი და გასაწმენდი ნაწილი. გასაპრიალებელი ნაწილი შედგება 4 ნაწილისგან, კერძოდ, 3 გასაპრიალებელი მბრუნავი დაფისა და ვაფლის ჩატვირთვისა და გადმოტვირთვის მოდულისგან. გასაწმენდი ნაწილი პასუხისმგებელია ვაფლის გაწმენდასა და გაშრობაზე, რათა უზრუნველყოფილი იყოს ვაფლის „გაშრობა და გამოშრობა“. მთელ გასაპრიალებელ მოწყობილობაში ალუმინის კერამიკა მნიშვნელოვან როლს ასრულებს.
ალუმინის კერამიკა, როგორც წესი, გამოიყენება ვაფლის გასაპრიალებელი დისკების დასამზადებლად, რომლებიც მოითხოვს მაღალ სისუფთავეს, მაღალ ქიმიურ გამძლეობას და ზედაპირის ფორმისა და უხეშობის კარგ კონტროლს.
ჩემშუნის 99.7%-იანი Al2O3 კერამიკული სახეხი დისკი დამზადებულია მოწინავე კერამიკული მასალისგან, რომელიც გამოდგება სხვადასხვა მასალის წვრილი დაფქვისთვის, განსაკუთრებით მყიფე მასალების, როგორიცაა ვაფლები, კერამიკა და მინა, დასაფქვავად. ჩვენი კერამიკული სახეხი დისკის დამზადება შესაძლებელია სხვადასხვა ზომებში, სხვადასხვა დაფქვისა და გაპრიალების მოდელების მიხედვით.
გამოქვეყნების დრო: 2025 წლის 30 მაისი